浙江大学科创先进半导体研究院:半导体行业领军‘尖兵’
浙江大学科技创新的浪潮再掀新篇章,其下属的先进半导体研究院与杭州乾晶半导体合作,在宽禁带半导体领域取得重大进展。他们不仅成功实现了8英寸n型碳化硅单晶的生长,厚度达到了27毫米,而且还打造了相应的衬底片,从而自豪地加入了8英寸碳化硅的精英行列。
追溯至去年7月,该研究院已经在6英寸碳化硅单晶的生长上取得了令人瞩目的成就,厚度高达50毫米,这一尺寸在当前业界属于佼佼者。
该研究院聚焦于宽禁带半导体材料的研发和产业化,以及功率芯片的研究,致力于突破关键技术瓶颈,助力解决半导体产业中的难题,提升国家在该领域的竞争力。它已成为浙江省功率半导体材料与器件重点实验室,也是国内唯一的全方位开放宽禁带半导体科研平台。
研究院由杨德仁院士领衔,设有多个专业实验室,截至2022年11月10日,共有师生240人。研究内容包括但不限于碳化硅单晶生长、晶圆加工、外延薄膜生长、氧化镓单晶研发等,涵盖了半导体材料生长、加工和模拟计算的全方位研究。
值得一提的是,该研究院已掌握了多种半导体晶体生长的核心技术,并已申请了多项专利,其中多项已获得授权。此外,研究院还承担了多个重点研发项目,持续推动高质量半导体材料的研发进程。
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